Безмасковая система экспонирования

Miscan

Miscan · CN

Характеристика	Значение
Источники	LD 405 нм > 3,6 Вт; DPSSL 355 нм 10 Вт
Na	0,3; 0,45; 0,8
Мин топология	0,3–0,8 мкм
Cd uniformity	70–300 нм
Область экспонирования	200×200 … 250×250 мм
Скорость	90–1000 мм²/мин
Автофокус	0–200 мкм