Настольная RTP-система

RTP-Table 6

Dongguan Sindin Precision Instruments Co., Ltd. · CN

Характеристика	Значение
Однородность	±3 °С (<600 °С); ±0,5% (>600 °С)
Процессы	постимплантационный отжиг, вжигание омических контактов, RTO/RTN
Макс температура	1250 °С (до 800 °С термопара, 800–1250 °С пирометр)
Скорость нагрева	150 °С пластина; 25 °С SiC-носитель; 35 °С графит с SiC-покрытием