Центрифуга нанесения фоторезиста с дозатором

AC200 COT

Suzhou MEMSTools Semiconductor Technology Co., Ltd · CN

Характеристика	Значение
Скорость	до 10 000 об/мин
Чаша	ПНД, гладкая, коррозионностойкая
Держатель	алюминиевый сплав, вакуумный или механический прижим, центрирование
Управление	сенсорный экран, 100 рецептов × 100 шагов
Линии	нанесения фоторезиста, EBR, BSA