Установка анодного сращивания

Suzhou MEMSTools Semiconductor Technology Co., Ltd · CN

Характеристика	Значение
Температура	до 500 °С
Принцип	нагрев + электростатическое поле; Si, металлы, щелочное стекло
Пластины	4–8" (другие по запросу)
Предельный вакуум	1×10⁻³ Па
Давление	10 / 20 / 30 кН (до 100 кН)
Равномерность давления	±5%
Равномерность температуры	±2%