Бюджетная установка совмещения/экспонирования

MS6-CA

Jiangsu Lebo Semiconductor Equipment Co., Ltd. · CN

Характеристика	Значение
Особенности	компенсация клина; антивибрационная плита
Подложки	60×48 мм … 8" пластин
Фотошаблоны	76×76 мм
Совмещение	ручное, микровинты
Источник	ртутная лампа 350–450 нм или LED 365 нм
Интенсивность	> 30 мВт/см² (i-линия), регулируется
Столик	X,Y ±5 мм (разрешение 0,1 мкм), θ ±6°
Неоднородность	≤ ±3% на пластине 150 мм
Точность совмещения	± 1 мкм
Система	оптический микроскоп + CCD-камера + монитор 22"
Расстояние объективов	30–120 мм (регулируется)