Установка совмещения/экспонирования

EM8-Li-3C

Suzhou MEMSTools Semiconductor Technology Co., Ltd · CN

Характеристика	Значение
Особенности	мраморная антивибрационная плита на колёсиках; автоматическая компенсация клина
Подложки	60×48 мм … 8" пластин
Фотошаблоны	76×76 мм
Совмещение	одностороннее или двустороннее, CCD-камеры
Методы экспонирования	мягкий, жёсткий, вакуумный контакт, микрозазор
Источник	LED 365 и/или 405 нм
Равномерность освещения	≥ 97% (Ø202 мм, 202×202 мм)
Интенсивность	80 мВт/см²
Загрузка	ручная, слайдер
Столик	моторизованный XY ±10 мм, θ ±10°
Микроскоп	моторизованный XYZ ±25/±15/±6 мм