Система декапсуляции (лазер + плазма)

iPlasma Pro

ICDECAP LIMITED

Характеристика	Значение
Корпуса	2×2 … 75×75 мм
Процесс	бескислотный, только Ar + O₂
Безопасность	не повреждает микросварные соединения Au, Al, Cu
Автоматика	загрузка, совмещение, лазерное утонение, плазменное травление, отмывка в УЗ ванне, сушка воздухом
Видеонаблюдение	12 Мп, 170 крат
Время	60 с утонение лазером, 60 мин плазма
Генератор	2,45 ГГц, 140 Вт
Лазер	иттербиевый волоконный, 1064 нм
Стол	XY 300×100 мм моторизованный, вращение 360°