Установка IPA-сушки пластин (сушка Марангони)

FXIPA5

Wuxi Fanxua Semiconductor Technology Co. Ltd. · CN

Характеристика	Значение
Пластины	4" / 6"
Габариты	770×1100×1900 мм
Вместимость	1 кассета на 25 пластин
Цикл	0–999 мин
Тип	ручная / полуавтоматическая
Корпус	полипропилен 10 мм, огнестойкость V2
Конфигурация	сушильный бак PVDF; бак хранения IPA SUS316L; линия нагрева азота